详细介绍
二氯二氢硅,二氯硅烷无色,剧毒,腐蚀性,易燃烧的液化气体,带有刺激性的盐酸味。
应用
半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体。有机硅化合物的生产。
分子量
101.01
比重 (Air = 1)
3.52
比容
0.239m3/kg@21.1ºC, 101.325kPa<
气味
刺激性,令人窒息
CAS Registry No.
4109-96-0
包装:2L、4L、8L、40L、铝合金钢瓶、碳钢瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蚀性和活性气体组份标准气都采用特殊处理气瓶贮存,并统一采用不锈钢瓶阀。