R31SL 系列膜片式减压器,采用双级减压结构,输出压力稳定精确,适用于小流量场合。
结 构 特 点
Features
u 双级式减压结构
u 膜片与母体采用硬密封形式
u 母体螺纹:1/4” NPT (F)
u 安全压力:1.5 倍的最大输入压力
u 适用温度:-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
u 泄漏率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
u CV 值:0.08
u 重量:0.9 kg (2.0 lbs)
材 质
Materials
u 母体:铜电镀,316L
u 阀座:PCTFE,PTFE,Vespel®
u 膜片:316L,Hastelloy®
适 用 范 围
Typical Applications
u 钢瓶气
u 实验室
u 气相分析
u 测试仪表
u 石油化学工业
u 电厂设备
气体名称+浓度 | 纯度 | 容积/重量 | 接口类型 |
硅烷100%SIH4 | 6N | 47L /10KG | DISS632 |
硅烷100%SIH4 | 6N | 47L /15KG | DISS632 |
硅烷 SIH4 20%+N2 | 5N | 47L | CGA350 |
磷烷 5%PH3+N2 | 5N | 44L | CGA350 |
硼烷 B2H6 3%+N2 | 2N5 | 188CF | CGA350 |
氨气 NH3 | 5N | 44L | DISS720 |
二氯二氢硅 SiH2CL2 | 3N | 40L / 38KG | CGA678 |
笑气 NO2 | 5N | 47L | DISS712 |
六氟化二碳 C2F6 | 5N | 47L/ 40KG | DISS716 |
四氟化碳 CF4 | 5N | 47L / 30KG | DISS716 |
氦气 He | 6N | 47L | CGA580 |
氮气 N2 | 5N | 47L / 11.8MPa | G518 |
TEOS | 8N5 | 17KG /5gaL | 1/4VCR |
四氟化碳 CF4 | 5N | 47L / 30KG | DISS716 |
三氟化氮 NF3 | 4N | 47L/ 20KG | CGA640 |
三氟甲烷 CHF3 | 5N | 47L / 30KG | DISS716 |
六氟化硫 SF6 | 5N | 47L/ 50KG | DISS716 |
六氟化二碳 C2F6 | 5N | 47L/ 40KG | DISS720 |
氯气 CL2 | 5N | 47L / 50KG | CGA660 |
三氯化硼 BCL3 | 5N | 44L / 40KG | DISS720 |
溴化氢 HBr | 5N | 40L/ 10KG | CGA634 |
氦氧 He70%+ 30%O2 | 6N | 47L | CGA580 |
氦氧 He95%+0.5%O2 | 6N | 47L | CGA580 |
氩气Ar | 6N | 44L/7M3 | CGA580 |
三氟化硼BF3 | 4.4N | 0.7L/100G | CGA330 |
三氟化磷 | 电子级 | 0.7L/100G | CGA330 |
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