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产品展示

乙硼烷 B2H6

产品型号:40L-8L

产品摘要

乙硼烷 B2H6
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详细介绍

应用:在离子植入中用作硼源(P掺杂)、用于外延生长 
容器:气瓶

包装:2L、4L、8L、40L、铝合金钢瓶、碳钢瓶等注:凡含SO2、H2S、NO2、Cl2、NH3、等具有腐蚀性和活性气体组份标准气都采用特殊处理气瓶贮存,并统一采用不锈钢瓶阀。


成分

规范                                  

单位

B2H6

99.999%%V
N2

8ppmv
O2

2ppmv
CO2

5ppmv
H2O

5ppmv
其它氟碳

50ppmv
酸度(HF)

0.1ppmw

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