砷烷是一种剧毒、极易燃、无色、不稳定、与氢、氮、氩、氦混合出售的气体。该气体有令人作呕甜味。吸入或皮肤吸收会造成死亡。纯乙硼烷会自燃。 乙硼烷在混合状态下储存于不同规格的钢瓶中
容器、充装量及相关数据
硼烷 浓度 | 容器 L | 充装压力 Mpa | 稀释气Ar m3 | 稀释气He m3 | 稀释气H2 m3 | 稀释气N2 m3 |
5ppm-10%
| 47 40 16 8 4 | 50~14.5 50~14.5 50~14.5 50~14.5 50~14.5 | 2.35-7.33 2.0-6.24 0.8-2.49 0.4-1.24 0.2-0.62 | 2.30-6.38 2.00-5.43 0.78-2.27 0.40-1.13 0.20-0.57 | 2.30-6.38 2.00-5.43 0.78-2.27 0.40-1.13 0.20-0.57 | 2.44-6.79 2.07-5.78 0.83-2.31 0.42-1.16 0.20-0.58 |
纯度指标
含量名称 B2H6 | ELECTRONIC 99.998%min |
CO2 O2 N2 THC | ﹤5ppm ﹤1ppm ﹤10ppm ﹤5ppm |
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