磷烷（PH3）混合气
为了使浓度低于100%，可以用氩气、氦、氢或氮气稀释砷烷。用这种形式的砷烷可以增加工艺控制的复合度，尤其沉积非常少量的磷时。
说明 | ||||||||||
气瓶接头：CGA-350 掺杂浓度：能够与特大规模或超大规模级平衡气混合 | ||||||||||
砷烷 浓度 | 气瓶 尺寸 | 压力 psig | 氩 | 氦 | 氢 | 氮 | ||||
Ft3 | M3 | Ft3 | M3 | Ft3 | M3 | Ft3 | M3 | |||
5ppm-23% | 044 016 | 1800 1800 | 200 75 | 5.66 2.12 | 175 66 | 4.95 1.87 | 175 66 | 4.95 2.12 | 187 70 | 5.30 1.98 |
因为磷烷有一个较低的蒸汽压力，比上述更高浓度的压力低于上述值。为了避免磷烷的液化，只有一个最大的量装入气瓶内。为了得到更高的浓度，增加较少的平衡气 | ||||||||||
硅烷平衡磷烷 | ||||
浓度 | 气瓶 尺寸 | 压力 Psig | 容量 | |
Ft3 | M3 | |||
1-20% | 049 044 016 | 875 875 875 | 148 133 50 | 4.19 3.771 1.42 |
交通运输部装运说明 | |||||
氢平衡 | |||||
浓度 | 装运名称 | 装运文件 | 装运标签 | ||
>10% | _%磷烷/氢气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域A | 有毒气体 易燃气体 | ||
10-2% | _%磷烷/氢气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域B | 有毒气体 易燃气体 | ||
2-0.67% | _%磷烷/氢气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域C | 有毒气体 易燃气体 | ||
0.67-0.4% | _%磷烷/氢气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃，（_%磷烷/氢气混合气）2.3 UN1953,危险区域D | 有毒气体 易燃气体 | ||
<4000ppm | _ppm磷烷/氢气混合气 | 压缩气体，有毒，易燃， （_ppm磷烷/氢气混合气）2.1 UN1954 | 易燃气体 | ||
氩、氦、氮平衡 | |||||
浓度 | 装运名称 | 装运文件 | 装运标签 | ||
>10% | _%磷烷/氮气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953，危险区域A | 有毒气体 易燃气体 | ||
10-2% | _%磷烷/氮气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953,危险区域B | 有毒气体 易燃气体 | ||
2-0.7%（Ar） 2-0.9%（He） 2-1.2%(N2) | _%磷烷/氮气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953，危险区域C | 有毒气体 易燃气体 | ||
0.7-0.67%(Ar) 0.9-0.67%(He) 1.2-0.67%(N2) | _%磷烷/氮气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953，危险区域C | 有毒气体
| ||
0.67-0.4% | _%磷烷/氮气混合气，吸入危害 | 压缩气体，有毒，易燃（_%磷烷/氮气混合气）2.3 UN1953,危险区域D | 有毒气体 | ||
<4000ppm | _ppm磷烷/氮气混合气 | 压缩气体（_ppm磷烷/氮气混合气）2.2UN1956 | 不燃气体 | ||
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