序号( I% G; y, x! g4 L J( T2 U3 | | 组份气
# o7 g/ P# p' F. \( q8 L D | 稀释气
3 S% v0 G/ R$ ^4 Z8 u- j | 组份气含量范围
$ o4 M( V: R' W- T6 w |
1( m, m E z4 i: C) I8 R6 g
2
4 k' T3 k# L, D. k8 p+ v# y9 G2 h37 K; `9 |2 R8 U. U" y
49 ?- Y3 i. Y$ k R1 P
5
% p: W7 D) m2 q, G6- D' J% `, M# @7 h8 P$ D% @9 I9 G) g
7/ f9 W% i# j6 ~/ g+ r% s' K
8 F$ d ^& ?- B2 b/ g; j9 T G
9 s+ B7 @; N8 w" F. T! e1 [
10
; Z" r I( m/ T | 氯化氢（HCl）, Y: v$ J- r% a+ S% ~: ?6 ~! g U
硒化氢（H2Se）
0 o4 m: C/ v- m8 Q* t锗烷（GeH4） {! E S9 ~8 d, z3 F
磷烷（PH3）4 P+ y/ ]$ C+ T8 ]) I! q! q
砷烷（As2H3）5 {9 | [" @9 G4 \
乙硼烷（B2H6）' g5 M5 |/ K* o6 g% | J5 E
硅烷（SiH4）
! }, e* V( v4 N9 ?二乙基碲（C2H5）2Te2 E1 \ P$ d% o/ c+ w氯（Cl2） C9 ?* z4 @1 v. N: U
一氧化碳（CO）
+ p5 e8 i! h2 t; e Q | 氧、氮8 g" X1 k0 t; e! Q
氩、氦、氢、氮
O: q; E9 T G% t1 a氩、氦、氢、氮
) G5 L0 f6 T5 r! Q. X/ u' Q( p8 r2 N氩、氦、氢、氮
C% K0 f0 \" ]% f! W5 Q, W氩、氦、氢、氮
( y Y# B0 r7 X* I$ b+ V! V氩、氦、氢、氮
7 e! M9 d0 |0 h! z氩、氦、氢、氮 ~/ y3 t) n7 S% A
氩、氦、氢、氮
" W* V9 O5 B5 B- _! z氮
' x2 F8 B P( p* Q六氟化硫/ _$ X( {. B# k* f | 1—10% h( |4 O+ S8 l: x/ i
5—5000×10-6- X3 h. [$ U1 h8 q9 [" f
1—5%
/ R j7 b$ h. N, ]" d7 x5—5000×10-6、0.5—15%
0 @ v ~9 Z. `. {# J" @5—5000×10-6、0.5—15%- q) K" n2 w- u, Q' C! [) d
5—5000×10-6、1%
% x: i. O0 w) E/ C: d0.5—15%
3 s9 H9 c M, Z0 l/ Z9 J5—150×10-6
( a6 W2 b7 p f" |9 f6 {4 P28%( E9 d8 b; Y! ~1 a1 L
22%8 O* F" |, Q; I" G ^4 y |
